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磁悬浮转子微陀螺的设计技术 被引量：1

Design on micromachined gyroscope with electromagnetic levitating rotor
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摘要 磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10 MHz、旋转励磁频率2 MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000 r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的.
作者 张卫平 陈文元 吴校生 赵小林 崔峰 黄晓刚 刘武
机构地区 上海交通大学
出处 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第z1期1-5,共5页 Optics and Precision Engineering
基金 国家863项目(2002AA745120) 上海市科委上海市科委2002年重大项目"微机电系统"中的子项目--"先进惯性传感器"
关键词 磁悬浮转子微陀螺 MEMS 设计 准LiGA技术 试验
分类号 O318 [理学—一般力学与力学基础]
  • 相关文献

参考文献5

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同被引文献41

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引证文献1

二级引证文献6

光学精密工程
2004年 第z1期

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