基于PMAC的磁悬浮微进给机构的控制

Manipulative system for magnetic levitation micro feed mechanism via PMAC

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摘要针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的快速步进、精密定位需求,研制出一种新型磁悬浮微进给机构,实现了运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.通过PID特性分析并利用PMAC运动控制器设计了一套完整的控制系统,详细阐明了整个控制系统的结构与工作原理,通过试验曲线比较说明了该控制系统的准确性,更进一步的说明了磁悬浮微进给机构的合理性.

作者卢志山王延风何惠阳宋文荣张德龙

机构地区中国科学院

出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第z2期250-253,共4页 Optics and Precision Engineering

关键词磁悬浮微机给机构 PID控制 PMAC

分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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