几种高温高频压力传感器的研制与开发被引量：3

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摘要本文介绍了几种在高温工况下使用的动态压力传感器的设计、研制与开发,它们都是采用基于MEMS技术的SOI技术制作的,低至零频,高至数百赫兹的宽的动态频响使它们在兵工测试领域有着良好的应用前景,可望解决一些传统传感器难以解决的问题.

作者王文襄王晋林李水霞张文钊

机构地区昆山双桥传感器研究所

出处《测试技术学报》 2002年第z1期413-416,共4页 Journal of Test and Measurement Technology

关键词高温压力传感器动态频响 MEMS技术 SOI技术齐平封装

同被引文献11

1郭炜,俞统昌,李正来,冯晓军.冲击波压力传感器灵敏度的动态校准[J].火炸药学报,2006,29(3):62-64. 被引量：13
2马林,李建昌,门丽娟,柯文,王凤丹,刘衎.基于爆炸为驱动源的压力传感器动态标校装置研究[J].弹箭与制导学报,2016,36(4):128-130.
3热合曼.艾比布力,王鸿雁,薛方正,黄琳雅,皇咪咪,于明智,赵立波.耐高温动态压力传感器与实验分析研究[J].实验流体力学,2017,31(2):44-50. 被引量：2

1王建灵,郭炜,冯晓军.TNT、PBX和Hexel空中爆炸冲击波参数的实验研究[J].火炸药学报,2008,31(6):42-44. 被引量：26
2刘相果,程晋明,祁双喜,曾祥明,刘光聪.基于压电陶瓷的平面阵列式压力传感器研究[J].压电与声光,2009,31(6):824-826. 被引量：1
3刘相果,程晋明,祁双喜,曾祥明.球面阵列压力传感器的研究[J].压电与声光,2010,32(1):48-50.
4殷俊兰,苏健军,陈君.水中压力传感器灵敏度校准的研究[J].传感器与微系统,2010,29(12):29-31. 被引量：3
5张瑜,裴东兴,祖静.高压传感器在高静压下的动态校准方法[J].传感技术学报,2011,24(8):1146-1150. 被引量：7
6陈新民,高丰.双螺杆挤出机连续混合加工浇注PBX的安全性分析[J].兵工自动化,2013,32(1):64-66. 被引量：11
7王国平,芮筱亭,徐浩,冯宾宾,王燕.弹底总压PVDF传感器[J].兵工自动化,2013,32(1):71-74. 被引量：2
8樊俊霞,李新娥.Dynamic calibration method of capacitive pressure measuring device[J].Journal of Measurement Science and Instrumentation,2013,4(1):1-5.
9徐浩,芮筱亭,于海龙,冯宾宾,王燕.弹底发射装药挤压应力测试的PVDF传感器研究[J].仪器仪表学报,2013,34(5):1029-1035. 被引量：6
10张瑜,祖静,张红艳.改进的高压传感器准δ函数脉冲压力动态校准方法[J].高压物理学报,2013,27(6):921-927. 被引量：2

测试技术学报

2002年第z1期

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