长距离高精度激光准直技术的最新发展

The lastest development of long-distance of laser collimation techniques with high accuracy

激光准直技术已广泛应用于大型工件直线度、同轴度、平面度等形位误差的测量.本论文主要介绍近年来激光准直技术的最新发展,如反馈控制法、无衍射光莫尔条纹法等.这些激光准直技术从理论到实践都较好地克服了激光漂移、大气环境对激光准直的影响,较好地满足了长距离高精度形位误差测量的要求.