金属材料冰盘抛光纳米加工试验研究

Nano-machining Experiment Research of Metal Material Polishing with Ice Desk

纳米加工是现代制造技术的前沿,在尖端产品和现代化武器制造中占有非常重要的地位.许多高精度扫描转镜、激光核聚变装置中的反射镜、人造卫星仪表轴承均由金属材料制成.本文采用冰盘抛光新技术,首次对不同金属材料试件(45钢、YG6等)进行了纳米抛光加工试验研究,给出了实际测量结果.通过分析与实验验证,得到了不同金属材料对纳米抛光精度带来不同影响的规律:冰盘抛光加工参数不同时对金属材料纳米加工精度的影响规律.对冰盘抛光纳米加工进行了较为深入的分析与探讨.