双晶片热致动微型镜的结构设计

The Design of Two-kind Wafer Micro-mirror Actuated by Heat

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摘要本文通过分析几种常用的致动器及双晶片热致动器的结构弯曲特性,设计出一种双晶片热致动微型镜器件的结构,并指出该器件的适应范围和特点.

作者苏淑靖杨晓敏张文栋

机构地区华北工学院电子工程系

出处《测试技术学报》 2002年第z2期1003-1008,共6页 Journal of Test and Measurement Technology

基金本论文受国家教育部高等学校全国优秀博士学位论文作者专项资助,资助号:200228

关键词双晶片致动器微型镜结构

参考文献2

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测试技术学报

2002年第z2期

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