微机械惯性平台技术研究被引量：1

Study On Micromachined Inertial Platform Technology

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摘要本文介绍了微机械惯性平台的工作原理,讨论了微机械惯性平台的主要部件(微机械陀螺仪和微机械加速度计)的设计,并介绍了其使用前景.

作者石云波刘俊张文栋

机构地区华北工学院电子工程系北京大学微电子研究所

出处《测试技术学报》 2002年第z2期1009-1012,共4页 Journal of Test and Measurement Technology

基金本论文受国家教育部高等学校全国优秀博士学位论文作者专项资助,资助号:200228

关键词微机械惯性平台陀螺仪加速度计

同被引文献4

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测试技术学报

2002年第z2期

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