半导体材料的发展现状与趋势(摘要)

一、硅单晶和外延材料 半导体硅单晶材料是半导体器件和集成电路等电子工业的基础材料,年产量已超过50亿in^2,到2000年预计将达60多亿in^2。在目前使用的半导体材料中,硅一直处于主导地位(98％的半导体器件是由硅材料制造)。