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单频纳米激光干涉仪非线性误差及其修正方法 被引量：1

Nonlinearity Error and the Correction Method for Homodyne Laser Interferometer with Nanometer Accuracy
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摘要 介绍了单频纳米激光干涉仪的非线性误差,分析了各种典型的单频激光干涉仪非线性误差修正方法,如Heydemann方法、频谱分析方法、基于干涉信号波峰和波谷的方法、基于神经网络的NN方法.在基于干涉信号波峰和波谷的方法的基础上,提出了一种改良方法(P方法),试验结果表明,P方法具有运算简单、误差修正精度高和抗干扰性能较强等优点,可以在非计量环境下用该法对干涉仪的非线性误差进行修正,实用价值较大.
作者 高宏堂 高思田 邵宏伟
机构地区 中国计量科学研究院
出处 《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期26-30,共5页 Acta Metrologica Sinica
关键词 计量学 单频激光干涉仪 非线性误差 误差修正 纳米测量
分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
  • 相关文献

参考文献5

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共引文献9

同被引文献7

引证文献1

二级引证文献13

计量学报
2006年 第z1期

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