一种新型大尺寸长度校准装置的研制被引量：1

A Novel Calibration System for Large Dimension Measuring Instruments

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摘要介绍了一种新型的大尺寸长度校准装置,该装置解决了激光干涉仪等高精度大尺寸长度测量仪器的实验室校准与溯源问题.通过采用三路相干光进行测长,根据两辅助光路与主光路的测长偏差计算阿贝角,实现了阿贝误差的实时补偿.利用标准双频激光干涉仪测试了阿贝误差的补偿精度,35 m测量范围内的比对误差小于±3μm.测量精度达到了单光路同轴测量的水平.

作者王继虎马骊群何小妹曹铁泽熊昌友

机构地区北京长城计量测试技术研究所

出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期92-95,共4页 Acta Metrologica Sinica

关键词计量学大尺寸测量激光干涉仪校准阿贝误差补偿

分类号 TH7 [机械工程—精密仪器及机械]

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相关文献

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