基于准LIGA工艺的微型传动齿轮制作被引量：4

Fabrication of Micro Movable Gear Using Quasi-LIGA Process

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摘要研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果。 A kind of micro movable gear is fabricated by using multilayers' photoresist technology and metal sac-rificial layer technololgy.Some experiment results are presented.

作者邓扬明李德胜

机构地区北京工业大学机械工程与应用电子学院

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z2期318-319,333,共3页 Chinese Journal of Scientific Instrument

关键词 MEMS 准LIGA 微齿轮多层光刻胶工艺 MEMS Quasi-LIGA Micro gear multilayers' photoresist technology

分类号 TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]

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