Residual stress distribution in thin diamond films and its effects on preparation of thick freestanding diamond films using DC arc plasma jet operated at gas recycling mode
Residual stress distribution in thin diamond films and its effects on preparation of thick freestanding diamond films using DC arc plasma jet operated at gas recycling mode
出处
《中国有色金属学会会刊:英文版》
CSCD
2004年第z1期255-259,共5页
Transactions of Nonferrous Metals Society of China
参考文献2
-
1吕反修,唐伟忠,李成明,陈广超,佟玉梅.大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展[J].红外技术,2003,25(4):1-7. 被引量:32
-
2金曾孙,姜志刚,胡航,曹庆忠.热阴极DC-PCVD方法制备的金刚石厚膜的生长特性和内应力[J].新型炭材料,2003,18(1):65-68. 被引量:13
二级参考文献22
-
1吕反修.国家八六三计划“八五”期间项目最终研制工作报告,课题编号:863—715—02(Z)-A[R].863新材料领域专家委员会,1996年1月..
-
2吕反修 唐伟忠.国家八六三计划项目研制工作报告,课题编号:863—715-Z38-03[R].863新材料领域专家委员会,2000年12月..
-
3李国华 吕反修 等.[P].中国发明专利,ZL 93 1 09966,8[P].授权日期:1998年2月.
-
4李成明 吕反修 等.863“十五”计划合同书,合同号:2002AA305508[Z].,2002年11月..
-
5刘敬明.[D].北京科技大学,2002年2月.
-
6张恒大.[D].北京科技大学,2003年2月.
-
7刘敬明 将政 张恒大 吕反修 唐伟忠.北京科技大学学报[J],2002,23(1):1-1.
-
8付一良 吕反修 王建军 钟国仿 王亮 杨让.高技术通讯[J],1996,6(1):1-1.
-
9K.J. Gray and H. Windischmann, Diamond and Related Materials[J]. 1999.8(2-5): 903.
-
10F.X.Lu(吕反修),G.F. Zhong,et al..Diamond and related Materials[J],1998.7/6:737~741.
共引文献43
-
1李春燕,金曾孙,吕宪义.乙醇对金刚石膜生长特性的影响[J].功能材料,2004,35(z1):2180-2182.
-
2相炳坤,左敦稳,李多生,陆海泉,陈荣发.大面积球面金刚石膜的均匀沉积研究[J].人工晶体学报,2009,38(1):33-38. 被引量:7
-
3文星凯,魏俊俊,刘金龙,陈良贤,黑立富,李成明.大面积自支撑金刚石膜的机械研磨研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2013,33(5):22-26. 被引量:2
-
4杨胶溪,段晓峰,吕反修,左铁钏,王凤莲.黑色组织对直流电弧等离子体喷射金刚石自支撑膜光学、热学性能的影响[J].红外技术,2005,27(2):175-178. 被引量:5
-
5杨胶溪,吕反修,李成明,陈广超,左铁钏.高质量CVD金刚石自支撑膜的连续激光损伤研究[J].激光与红外,2005,35(6):430-432. 被引量:1
-
6汪爱英,柯培玲,孙超,黄荣芳,闻立时.热丝CVD大面积金刚石薄膜的生长动力学研究[J].新型炭材料,2005,20(3):229-234. 被引量:8
-
7吕宪义,金曾孙,杨广亮.用EA-CVD方法制备的大尺寸金刚石厚膜的品质和膜厚均匀性的研究[J].新型炭材料,2005,20(3):270-273. 被引量:3
-
8牛燕雄,黄峰,段晓峰,汪岳峰,张鹏,何琛娟,禹晔,姚建铨.脉冲激光对类金刚石(DLC)薄膜的热冲击效应研究[J].物理学报,2005,54(10):4816-4821. 被引量:9
-
9朱宏喜,毛卫民,冯惠平.金刚石薄膜残余应力的X射线透射测量法[J].物理测试,2005,23(6):21-24. 被引量:7
-
10朱嘉琦,韩杰才,高巍,孟松鹤.不同厚度四面体非晶碳薄膜的拉曼表征和内应力[J].新型炭材料,2006,21(1):59-63. 被引量:4
-
1Guofang Zhong,Fazheng Shen,Fanxiu Lu,Weizhong Tang(Material Science and Engineering School, University of Science and Technology’ Beijing, Beijing 100083, China).Preparation and Characterization of High Quality Diamond Films by DC ArcPlasma Jet CVD Method[J].International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials,1999,13(4):281-284. 被引量:1
-
2王启亮,吕宪义,李柳暗,成绍恒,李红东.Growth and Characteristics of Freestanding Hemispherical Diamond Films by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition[J].Chinese Physics Letters,2010,27(4):223-226.
-
3Zheng Liu Cheng-ming Li Liang-xian Chen Li-mei Wang Li-fu Hei Fan-xiu Lu.Deposition of crackless freestanding diamond films on Mo substrates with Zr interlayer[J].International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials,2010,17(2):246-250. 被引量:1
-
4Jin-long Liu,Cheng-ming Li,Rui-hua Zhu,Liang-xian Chen,Jing-jing Wang,Zhi-hong Feng.Ohmic contact properties of p-type surface conductive layer on H-terminated diamond films prepared by DC arc jet CVD[J].International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials,2013,20(8):802-807. 被引量:1
-
5欧阳晓平,王兰,范如玉,张忠兵,王伟,吕反修,唐伟忠,陈广超.金刚石膜探测器研制[J].物理学报,2006,55(5):2170-2174. 被引量:13
-
6张源,吴良专,余愿,李豫珍,只金芳.低温制备具有强荧光性能三氧化钼纳米带水溶胶[J].影像科学与光化学,2012,30(5):384-389.
-
7Feng, ZC,Zhao, Y,Zhang, BC,Wang, YQ,Wu, ZG.Low Temperature Synthesis of Diamond Films by CVD of Combined Lasers[J].Journal of Materials Science & Technology,1998,14(1):80-82.
-
8吕反修,唐伟忠,李成明,陈广超,佟玉梅,宋建华.大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及应用[J].功能材料,2004,35(z1):117-124. 被引量:5
-
9辛吉升,莫要武,夏义本,居建华,王鸿.Boron-Doped Diamond Films Deposited on Silicon Substrates by MPCVD[J].Advances in Manufacturing,1997(2):159-162.
-
10吕反修,唐伟忠,李成明,陈广超,佟玉梅.大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展[J].红外技术,2003,25(4):1-7. 被引量:32