挥发金属β-二酮化合物质量传输过程的试验研究

Experiment of mass - transfer processes of votile metal beta - diketonates

为了确定以乙酰丙酮铱这种金属β-二酮化合物为沉积源的金属铱MOCVD的具体工艺参数,针对基体面积较大或不规则的工艺条件,本文自行设计了能在不同温度下适时采集数据的微量失重-时间数据采集记录仪,进行了以Ar气为载气,温度在220℃-250℃之间的乙酰丙酮铱质量传输过程的试验研究,发现质量传输速度不仅与载气、温度有关,而且与有效表面积有关.实验给出了了相关温度下质量传输速度的有关数据.