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SOI阵列波导光栅的设计与制作

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摘要 本文讲述了基于SOI材料的5×5阵列波导光栅(AWG)的设计与器件的制作.设计结果显示,通过选择合适的波导结构可以有效地减小器件的偏振特性;采用合适的弯曲半径,不但可以减小器件的损耗,而且可以降低器件的串扰.器件的测试结果表明,器件的中心波长、通道间隔与设计值基本相符;器件的相邻信导串扰接近10dB.器件初步达到分波的功能.
作者 方青 邱海军 李芳 刘育梁
机构地区 中国科学院半导体研究所
出处 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期218-220,共3页 Journal of Optoelectronics·Laser
基金 本项目得到国家自然科学基金项目(编号90104003)基金资助
关键词 SOI材料 阵列波导光栅(AWG) 信道间隔 中心波长 相邻信道串扰
分类号 TN2 [电子电信—物理电子学]
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参考文献16

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光电子．激光
2004年 第z1期

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