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大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及应用 被引量：5

Preparation, fabrication and application of Large area optical grade freestanding diamond films
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摘要 大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一.在军事和民用光学领域有非常重要的应用前景.本文综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展.给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果,并报导了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学(机械)、热学、微波介电性能和抗激光损伤等方面的最新研究结果.
作者 吕反修 唐伟忠 李成明 陈广超 佟玉梅 宋建华
机构地区 北京科技大学
出处 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期117-124,共8页 Journal of Functional Materials
基金 863计划在"八五","九五"和"十五"期间的资金资助项目(863-715-02(Z)-A,863-715-Z38-03,2002AA305508)
关键词 光学级金刚石膜 制备和加工 光学性能 热学性能 机械性能 微波介电性能
分类号 TN304.18 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献3

二级参考文献13

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  • 10钟国舫，硕士学位论文，1994年

共引文献25

同被引文献86

引证文献5

二级引证文献20

功能材料
2004年 第z1期

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