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ITO靶材的研究现状与发展趋势
被引量：
9
Review on research status and development trend of ito target material
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职称材料
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摘要
概述了ITO靶材的应用范围和日益增大的市场需求;对ITO靶材的加工技术和工艺进行了探讨,对ITO薄膜的特性进行了描述;
作者
李音波
李卫华
闫琳
余前春
韩志伟
机构地区
北京有色金属研究总院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期996-1000,共5页
Journal of Functional Materials
关键词
ITO靶材
透明导电膜
烧结工艺
分类号
O484.42 [理学—固体物理]
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钟毅,王达健,刘荣佩,郭玉忠.
铟锡氧化物 (ITO) 靶材的应用和制备技术[J]
.昆明理工大学学报（理工版）,1997,22(1):66-70.
被引量：23
2
李世涛,乔学亮,陈建国.
透明导电薄膜的研究现状及应用[J]
.激光与光电子学进展,2003,40(7):53-59.
被引量：51
3
张树高,扈百直,吴义成,方勋华,黄伯云.
铟锡氧化物陶瓷靶材热等静压致密化研究[J]
.功能材料,2000,31(4):383-384.
被引量：15
二级参考文献
9
1
宋继鑫.
国外光学薄膜的应用和真空镀膜工艺[J]
.光学技术,1994,20(1):32-38.
被引量：16
2
姜燮昌,胡勇.
ITO膜透明导电玻璃的应用前景及工业化生产[J]
.真空,1995,32(6):1-8.
被引量：25
3
黄培云，粉末冶金原理，1982年
4
张树高,黄伯云,方勋华.
ITO薄膜的半导化机理、用途和制备方法[J]
.材料导报,1997,11(4):11-14.
被引量：38
5
扈百直,张树高,付晓旭,吴义成.
铟锡氧化物热等静压时分解氧对裂纹形成的作用[J]
.中南工业大学学报,1999,30(6):608-610.
被引量：2
6
周之斌,崔容强,黄燕,孙铁囤,陈东.
超声雾化喷涂工艺及优质二氧化锡透明导电薄膜的研究[J]
.固体电子学研究与进展,2000,20(2):229-233.
被引量：3
7
杨志伟,韩圣浩,杨田林,赵俊卿,马瑾,马洪磊,程传福.
偏压磁控溅射法在水冷柔性衬底上制备ITO透明导电膜[J]
.物理学报,2000,49(6):1196-1201.
被引量：22
8
范志新.
应用物理学科新专业——液晶器件物理[J]
.物理,2000,29(11):688-691.
被引量：5
9
王金库,陈军,LIN Wei-Wei,林薇薇.
透明导电聚苯胺复合膜的研究进展[J]
.材料科学与工程,2001,19(1):121-123.
被引量：8
共引文献
82
1
晁上学.
PLC的维护和故障诊断[J]
.工业计量,2005,15(S1).
2
lemon果子.
十载情牵一条街[J]
.运输经理世界,2005(5):103-104.
3
公衍生,王传彬,沈强,张联盟.
氧化物功能薄膜材料的研究新进展[J]
.中国表面工程,2004,17(4):10-14.
被引量：9
4
赵玉涛,何维凤,李素敏,李长生.
柔性透明导电薄膜的研究现状、应用及趋势[J]
.江苏大学学报（自然科学版）,2005,26(1):62-66.
被引量：5
5
李晖.
IPv6:给设备插上网络的翅膀[J]
.中国计算机用户,2002(20):55-55.
6
何维凤,赵玉涛,李素敏,李长生.
柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景[J]
.材料导报,2005,19(3):32-36.
被引量：14
7
李晓杰,张越举.
爆炸压实烧结ITO陶瓷靶材的实验研究[J]
.稀有金属材料与工程,2005,34(3):417-420.
被引量：7
8
王华.
特色功能材料——透明导电氧化物薄膜[J]
.材料导报,2005,19(11):101-104.
被引量：4
9
林毅,宋鹂,陈奇,陆剑英,李会平.
有机-无机透明导电薄膜的研究进展[J]
.材料导报,2005,19(11):105-107.
被引量：1
10
张越举,李晓杰,孙贵磊,陈涛,王小红.
制备ITO靶材的探索[J]
.真空,2005,42(6):27-32.
被引量：3
同被引文献
94
1
向阳辉,胡文彬,沈彬,赵昌正,丁文江.
镁合金直接化学镀镍的初始沉积机制[J]
.上海交通大学学报,2000,34(12):1638-1640.
被引量：47
2
李酽,刘刚,刘红霞,刘传生,李铀,王芬.
化学镀层的性能及基体的镀前处理[J]
.航空制造技术,2004,47(7):86-88.
被引量：13
3
任玲玲,万立骏,白春礼.
有机电致发光器件的结构、发光机理及表面工程[J]
.化学通报,2004,67(7):499-505.
被引量：4
4
高鸿锦.
液晶显示材料产业现状及发展趋势[J]
.新材料产业,2004(6):48-55.
被引量：5
5
王树林,夏冬林.
ITO薄膜的制备工艺及进展[J]
.玻璃与搪瓷,2004,32(5):51-54.
被引量：17
6
职利,周怀营.
ITO薄膜的制备方法与应用[J]
.桂林电子工业学院学报,2004,24(6):54-57.
被引量：6
7
赵玉涛,何维凤,李素敏,李长生.
柔性透明导电薄膜的研究现状、应用及趋势[J]
.江苏大学学报（自然科学版）,2005,26(1):62-66.
被引量：5
8
张越举,李晓杰,孙贵磊,陈涛,王小红.
制备ITO靶材的探索[J]
.真空,2005,42(6):27-32.
被引量：3
9
周宏明,易丹青,杨小玲.
ITO薄膜的生产技术概况及发展趋势探讨[J]
.表面技术,2006,35(1):1-4.
被引量：13
10
辛荣生,林钰.
工艺条件对直流磁控溅射沉积ITO薄膜光电特性的影响[J]
.稀有金属,2005,29(6):931-933.
被引量：5
引证文献
9
1
齐天骄,邓建国,黄奕刚.
聚乙烯吡咯烷酮对纳米氧化铟锡表面修饰研究[J]
.广州化工,2009,37(9):4-7.
被引量：1
2
吴东奇,王文文,马丁,李东亮,王聪.
金属Ag微网格修饰ITO薄膜的制备及光电性能[J]
.功能材料,2012,43(24):3402-3405.
被引量：2
3
彭平,陈敬超,王鹏,陈守东.
高致密ITO靶材制备工艺的研究现状和发展趋势[J]
.热加工工艺,2012,41(24):31-34.
被引量：12
4
吴晓飞,郗雨林.
ITO薄膜性能、应用及其磁控溅射制备技术的研究[J]
.热加工工艺,2013,42(2):88-90.
被引量：7
5
崔诣.
浅议ITO靶材的制备方法及发展趋势[J]
.有色矿冶,2013,29(4):36-39.
被引量：7
6
杨硕,薛建强,师琳璞.
极高密度ITO坯体的制备和低温、欠氧烧结研究[J]
.材料开发与应用,2018,33(6):68-73.
7
张明杰,陈敬超,彭平,于杰.
不同冷等静压压力对ITO靶材性能影响的研究[J]
.化工新型材料,2015,43(5):117-119.
被引量：1
8
焦亚萍,项腾飞,梅天庆,任春春.
除油和蚀刻对ITO导电玻璃化学镀镍的影响[J]
.电镀与精饰,2015,37(8):35-39.
被引量：2
9
杨钊,崔晓芳,郗雨林.
高价金属元素掺杂ITO薄膜性能的研究现状[J]
.热加工工艺,2016,45(2):14-17.
二级引证文献
27
1
吴勃,周明,李保家,蔡兰.
飞秒激光不锈钢表面陷光微结构的制备与性能研究[J]
.功能材料,2013,44(21):3149-3153.
被引量：3
2
孟雷超,赵鹏,苏兴华,艾涛,张怡.
铟锡氧化物纳米粉体的制备[J]
.中国陶瓷,2014,50(2):6-11.
3
常溪,杨立宁,齐海波.
多次纺丝与退火对ITO薄膜表面均匀性的影响[J]
.石家庄铁道大学学报（自然科学版）,2014,27(2):100-104.
被引量：1
4
陈正伟,刘舒,步怀立,高光伟.
直热式ITO靶材热压设备的设计[J]
.真空科学与技术学报,2019,39(1):78-81.
被引量：1
5
杨硕,薛建强,师琳璞.
极高密度ITO坯体的制备和低温、欠氧烧结研究[J]
.材料开发与应用,2018,33(6):68-73.
6
张明杰,陈敬超,彭平,于杰.
不同冷等静压压力对ITO靶材性能影响的研究[J]
.化工新型材料,2015,43(5):117-119.
被引量：1
7
张明杰,陈敬超,彭平,于杰,吴涛.
ITO陶瓷靶材的制备方法及研究现状[J]
.热加工工艺,2015,44(12):35-39.
被引量：2
8
刘志宏,谌伟,李玉虎,刘智勇.
成型压力对冷等静压-烧结法制备ITO靶材中孔隙缺陷的影响[J]
.中国有色金属学报,2015,25(9):2435-2444.
被引量：7
9
杨钊,崔晓芳,郗雨林.
高价金属元素掺杂ITO薄膜性能的研究现状[J]
.热加工工艺,2016,45(2):14-17.
10
侯俊峰,周科朝,李志友,王科,甘雪萍.
In_2O_3-10SnO_2陶瓷中In_4Sn_3O_(12)与富Sn析出相特征[J]
.中南大学学报（自然科学版）,2016,47(5):1494-1499.
被引量：1
1
彭传才,黄广连,胡云慧,曹志刚,余圣发,魏敏,易可可,姚吉升,唐三川,陈坚.
国产ITO靶材的镀膜工艺研究[J]
.矿冶工程,1998,18(3):61-63.
2
陈卫平.
现代力学发展趋势及研究课题[J]
.台州师专学报,1997,19(6):42-47.
被引量：1
3
张滨,孙玉珍,王文皓.
关于用UPS测量功函数[J]
.物理测试,2007,25(4):21-23.
被引量：3
4
马春红,李士娜,马瑞新,朱鸿民.
射频磁控溅射法制备Ti掺杂ITO薄膜的厚度对膜结构与光电性能的影响[J]
.粉末冶金材料科学与工程,2016,21(3):503-507.
被引量：3
5
赵银女.
退火温度对透明导电Ga_2O_3/ITO周期多层膜性能的影响[J]
.材料科学与工程学报,2015,33(4):559-563.
6
马晓波,孙本双,钟景明,王东新,陈焕铭,张伟.
热压烧结ITO靶材物相组成与电子结构研究[J]
.稀有金属材料与工程,2013,42(1):126-130.
7
左庆峰.
物理美学研究现状与发展趋势之我见[J]
.技术物理教学,2012,20(2):147-148.
8
李晓东,许影博,江旻.
风力机气动噪声研究现状与发展趋势[J]
.应用数学和力学,2013,34(10):1083-1090.
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李光哲.
ITO靶材在黑化过程中面电阻波动的原因分析及解决方法[J]
.真空,1999(2):45-50.
10
唐卫国,张涛,罗奕,徐晋勇.
粗糙集属性约简算法综述[J]
.大众科技,2015,17(11):17-19.
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