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ITO靶材的研究现状与发展趋势
被引量:
9
Review on research status and development trend of ito target material
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职称材料
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摘要
概述了ITO靶材的应用范围和日益增大的市场需求;对ITO靶材的加工技术和工艺进行了探讨,对ITO薄膜的特性进行了描述;
作者
李音波
李卫华
闫琳
余前春
韩志伟
机构地区
北京有色金属研究总院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期996-1000,共5页
Journal of Functional Materials
关键词
ITO靶材
透明导电膜
烧结工艺
分类号
O484.42 [理学—固体物理]
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