超声热解法制备SnO2:F薄膜加热管及其性能研究

Properties of tubelike heater with SnO2: F thin films prepared by ultrasonic spray pyrolysis

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摘要采用超声喷涂热解淀积方法将SnO2:F透明导电薄膜制备于耐高温的硼硅玻璃管内壁.XRD物相分析及SEM、STM形貌分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构,平均粒径50nm.分析了薄膜中F取代SnO2中O的形成过程和薄膜电导率增强的机理,解释了不同的工艺条件对薄膜的结构、光电特性的影响,确定了制备SnO2:F薄膜加热管的最佳工艺条件.该条件下制备的薄膜的电阻率达4×10-4Ω·cm,可见光透过率高于90%,功率密度平均可达35 W/cm2.

作者施卫侯磊

机构地区西安理工大学

出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期1160-1164,1168,共6页 Journal of Functional Materials

关键词薄膜技术 SnO2:F薄膜光电特性超声喷涂热解法

分类号 TN304 [电子电信—物理电子学]

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