铌酸锶钡薄膜制备及椭偏光谱研究

Study of fabrication and spectroscopic ellipsometry of SBN thin films

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摘要用溶胶-凝胶法成功地制备出了退火温度分别为500、600、700、800、900℃的铌酸锶钡(SBN)薄膜;对制备出SBN薄膜分别进行了椭偏光谱测量研究,得到了不同退火SBN薄膜椭偏光谱参数曲线;并对测得的椭偏光谱进行了数值反演计算,得到了不同退火温度的SBN薄膜的光学常数谱.结果发现SBN薄膜的折射率和消光系数都随着退火温度的增高而增大.

作者王正张曰理郭扬铭莫党

机构地区中山大学

出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期178-180,共3页 Journal of Functional Materials

基金国家自然科学基金(50372085) 教育部留学回国启动基金广东省自然科学基金(021771)

关键词 SBN薄膜溶胶-凝胶法椭偏光谱

分类号 O848.1 [理学]

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