用改进的Sol-Gel方法制备PZT铁电薄膜的化学反应历程

The chemism of the preparation of PZT ferroelectric thin films using a modified sol-gel technique

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摘要通过傅立叶红外吸收光谱(FTIR)、1H和13C核磁共振波谱(NMR)对制备PZT铁电薄膜的Sol-Gel化学反应过程进行了分析.结果表明,采用硝酸氧锆(ZrO(NO3)2·2H2O)为锆源并使用单一溶剂制备PZT铁电薄膜,溶胶-凝胶化过程中化学反应相对简单,多组分系统稳定性较高,工艺条件易于控制,所制备的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3铁电薄膜致密性好,晶粒尺寸小且分布均匀.

作者陈实姜胜林曾亦可邓传益刘梅冬

机构地区华中科技大学

出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期1484-1489,1493,共7页 Journal of Functional Materials

基金 "863"计划新材料领域资助项目(2002AA325080)国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028)

关键词硝酸氧锆 PZT铁电薄膜 sol-gel方法化学反应过程

分类号 TM223 [一般工业技术—材料科学与工程]

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