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大功率激光窗口ZnSe的制备原理及方法
被引量:
6
The theory and method of CVD ZnSe for CO2 laser windows
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职称材料
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摘要
比较了四种适用于作CO2激光器窗口的材料,Ge、KCl、GaAs和ZnSe,指出ZnSe是大功率激光器最理想的窗口材料,并列举了3种ZnSe的制备原理及方法,阐述了CVD方法制备多晶ZnSe的过程.
作者
鲁泥藕
余怀之
霍承松
汪飞琴
石红春
机构地区
北京有色金属研究总院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期246-248,共3页
Journal of Functional Materials
关键词
窗口材料
透过率
ZNSE
化学气相沉积
分类号
TN304.2+5 [电子电信—物理电子学]
Q484.1 [生物学—生理学]
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