摘要
用IBAD(ion beam assisted deposition)方法镀TiN膜不但有很好的膜基结合力,而且纳米硬度、耐腐、耐磨性能可通过高低能结合的方法来提高.本文作者用PAT(positron annihilation technique)技术分析了在同一高低能条件下不同参数对Si基底的缺陷的影响,解释并论证了改进实验的方法.
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期2138-2140,共3页
Journal of Functional Materials
基金
天津自然科学基金资助项目(023613611)
陕西省教委科研基金(02JK191)