大口径镀膜机均匀性的研究被引量：4

Film uniformity characteristic of large caliber coating machine

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摘要对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.

作者董磊方明易葵范瑞瑛邵建达范正修

机构地区中国科学院上海光学精密机械研究所

出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期3216-3220,共5页 Journal of Functional Materials

关键词薄膜均匀性修正挡板

分类号 TH74 [机械工程—光学工程]

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