实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响
Influence of Ion Incident Angle on Microstructures and Magnetic Anisotropy of Co-Cu Alloy Films
摘要
从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用.
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期17-19,27,共4页
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
基金
国家自然科学基金(No.10405013)资助
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