摘要
以Ti(SO4)2为前驱物,尿素为沉淀剂,SnCl4为掺杂剂,采用水热法制备出Sn-TiO2薄膜.利用XRD、SEM和UV-VIS等测试手段对薄膜的物相、表面形貌和吸光性等进行了表征.研究了Ti(SO4)2的浓度、SnCl4的掺入量、水热反应温度和保温时间对制备Sn-TiO2薄膜的影响.结果表明,在一定工艺条件下,可制备出均匀、致密,无可视缺陷,厚度约160 nm的Sn-TiO2薄膜.
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期82-85,共4页
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
基金
国家杰出青年科学基金资助(No.50025208)
