脉冲电弧蒸发源的研究
Lab-Built Pulsed Arc Evaporator
摘要
本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原渐变膜的性能指标.
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期92-94,共3页
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
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