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光波导用硅基SiO2-ZrO2二元系统玻璃薄膜的制备 被引量：1

The Preparation of Silica-Based SiO2-ZrO2 Films as Waveguides by Sol-Gel Process
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摘要 以正硅酸乙酯(TEOS)和丙醇锆Zr(Ⅳ)-propoxide为先驱体,HAc作为螯合剂,采用溶胶-凝胶工艺制备了不同锆含量(XZr)的一系列SiO2-ZrO2块材,用旋涂法制备了硅基薄膜,并经FTIR表征.折射率测试表明,当XZr≤20%时,Zr能够进入Si-O-Si网络,有效的调控材料的折射率.当XZr＞20%时,由于HAc对Zr的螯合作用使丙醇锆无法充分水解,而主要以配合物的形式存在于材料中,导致了薄膜严重龟裂,折射率偏离线性变化;研究获得了旋涂工艺参数对硅基SiO2-ZrO2薄膜厚度的调控规律.
作者 苏德亮 钱国栋 王智宇 洪樟连 王民权
机构地区 浙江大学
出处 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期281-283,共3页 Rare Metal Materials and Engineering
基金 国家自然科学基金(90101007)和教育部跨世纪优秀人才培养计划资助项目
关键词 SiO2-ZrO2薄膜 折射率 溶胶-凝胶工艺 光波导
分类号 TG430.45 [金属学及工艺—焊接]
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同被引文献7

引证文献1

二级引证文献1

稀有金属材料与工程
2004年 第z1期

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