摘要
利用溶胶凝胶法制备了Ga2O3和InxGa2-xO3薄膜,对其晶体结构、光探测性能等进行了研究,并制作了1个基于上述氧化镓薄膜的光导型紫外探测器.实验结果表明,Ga2O3是很好的光导型日盲紫外探测材料之一.
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期298-300,共3页
Rare Metal Materials and Engineering
基金
国家基础研究发展规划项目(G2000683-06),国家自然科学基金重大项目(90201038),国家高技术研究发展计划(2003AA-3-A19)