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半导体工艺流程和器件的辅助设计与仿真软件被引量：1

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摘要　　TCAD简介　　TCAD(Technology CAD)是一种半导体工艺流程和器件方面的计算机辅助设计与仿真软件,它与我们所熟知的电子设计工具EDA(Electronic DesignAutomation)一样,是现代集成电路设计和制备不可缺少的重要工具.但是,在功能范围上,EDA主要包括电路和逻辑功能模拟及线路布局,而TCAD的应用领域则包括半导体工艺流程、器件物理、电学行为和电路缺陷等.……

作者杨征

出处《电子与电脑》 2004年第2期173-176,共4页 Compotech

分类号 TN6 [电子电信—电路与系统]

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参考文献2

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电子与电脑

2004年第2期

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