热处理对辐照区熔硅单晶的重要作用

Important Effect on FZ Monocrystalline Silicon by Annealing

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摘要阐述了热处理对辐照区熔硅单晶的影响。 This paper attempts to review the effect on FZ monocrystalline silicon by annealing.

作者郭立洲

机构地区河南新乡华丹电子有限责任公司

出处《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第z2期250-251,共2页 Journal of the Chinese Society of Rare Earths

关键词稀土区熔硅单晶热处理 rare earths FZ monocrystalline NTD annealing

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中国稀土学报

2002年第z2期

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