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模具超镜面表面电弧离子镀TIN薄膜工艺研究 被引量：1

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摘要 主要研究了阴极电弧靶电流大小,靶表面电磁场分量,以及脉冲偏压形式对TIN薄膜表面颗粒(液滴)的影响。通过优化镀膜工艺参数,可以有效地减小薄膜表面液滴的数量和尺寸,提高TIN薄膜质量。
作者 蔡满 何文瀚
机构地区 广东省机械研究所
出处 《机电工程技术》 2002年第z1期180-181,共2页 Mechanical & Electrical Engineering Technology
关键词 超镜面 电弧离子镀 颗粒 TIN薄膜
分类号 TQ153 [化学工程—电化学工业]
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引证文献1

二级引证文献2

机电工程技术
2002年 第z1期

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