微电子机械系统(MEMS)中的铁电器件被引量：1

Application of MEMS on Ferroelectric Devices

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摘要提出了一种将铁电材料与 MEMS集成的新趋势。 The paper describes a new trend that ferroelectric devices have been combined with MEMS.And a few latest microsensors and microactuators have been introduced in detail.

作者刘如净张之圣胡明

机构地区天津大学电子信息工程学院

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期236-237,共2页 Chinese Journal of Scientific Instrument

关键词 MEMS 铁电材料微传感器微执行器 MEMS Ferroelectric devices Microsensors Microactuators

分类号 TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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相关文献

参考文献2

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同被引文献8

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引证文献1

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二级引证文献1

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仪器仪表学报

2002年第z1期

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