摘要
微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点 ,是集成气体传感器等微传感器的核心部件。通过实验测定 。
Microhot plate is a key part of integrated gas sensor for its lower heating power and fast temperature response The influence of gas pressure and flow rate to microhot plate gas sensor is experimentally studied
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期54-55,共2页
Chinese Journal of Scientific Instrument
基金
国家自然科学基金 (69682 0 0 6和 5 9995 5 5 0 -5 )资助项目
关键词
气体
压力
流速
微热板
气体传感器
Gas Pressure Flow rate Microhot plate Gas sensor
