集成PMOS环振式压力传感器

Integrated Silicon Pressure Sensor with PMOS Ring Oscillators

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摘要制造了一种集成PMOS环振式压力传感器,给出了它的结构、制造方法和初步的测试结果。 We developed a kind of integrated silicon pressure sensor with PMOS ring oscillators, and showed its structure, fabrication method and initial results.

作者岳瑞峰刘理天

机构地区清华大学微电子学研究所

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z2期597-598,共2页 Chinese Journal of Scientific Instrument

关键词压力传感器频率输出 PMOS环形振荡器 Pressure sensor Frequency output PMOS ring oscillator

分类号 TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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