气体质量流量与压力的测量和控制

The Measurement and Control of Gas Mass Flow and Pressure

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摘要本文介绍气体质量流量的测量和控制及微压传感器的原理及应用。 In this paper, the measurment and control of gas mass flow and the principle and applications of micro-pressure sensor are presented in detail.

作者范雨珍

机构地区北京圣业科技发展有限公司

出处《中国仪器仪表》 2001年第z1期30-33,共4页 China Instrumentation

关键词质量流量气体流量计质量流量控制器微压传感器 Mass flow Gas mass flowmeters Mass flow controllers Micro-pressure sensor

分类号 TH814 [机械工程—精密仪器及机械]

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