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CVD金刚石涂层硬质合金衬底预处理新方法研究 被引量:7

A new pretreatment method for WC-Co substrate for CVD deposition
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摘要 本文研究了甲醇预处理方法对硬质合金衬底表面抑制Co催石墨化作用。将甲醇预处理方法融入到传统的两步处理方法中,提出了新的两步预处理方法,通过电镜和EDX等手段对预处理后的衬底表面形貌、成分进行了分析。采用偏压增强热丝CVD(HFCVD)法,在预处理后的衬底表面成功沉积了金刚石薄膜。并以制做钻头为例,验证了两步法对复杂形状衬底的预处理及金刚石薄膜制备效果。研究结果表明:采用甲醇预处理方法能够有效抑制Co对金刚石薄膜的不利影响,新的两步预处理方法既能保证金刚石薄膜与衬底之间的附着强度,又非常适用于复杂形状整体式回转硬质合金刀具、拉拔模具等衬底,对于拓展金刚石涂层在涂层刀具领域的应用具有一定的参考作用。 A methanol pretreating method was proposed to reduce the Co concentration on the surface of WC-Co substrate;also a new two-step chemical procedure combined with methanol pretreating method was put forward to increase the diamond nucleation density and the adhesion strength between the diamond films and the substrates.High quality diamond films were deposited on such pre-treated substrates by hot filament chemical vapor deposition(HFCVD) method using a mixture of acetone and hydrogen gases.The surface morpho...
出处 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2009年第1期-,共5页 Diamond & Abrasives Engineering
基金 新世纪优秀人才计划项目(NCET-06-0399) 安微建筑工业学院博士基金项目(2009)
关键词 金刚石薄膜 衬底预处理 两步法 复杂形状 偏压增强热丝CVD diamond films pre-treatment two-step chemical procedure complex shape bias-enhanced hot filament CVD
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