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平晶平面度综合测量方法探讨

Discussion on Comprehensive Measurement Method of the Optical Flat Flatness

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摘要在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求。本文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式。

作者宫美望

机构地区青岛市计量测试所

出处《计量与测试技术》 2009年第3期5-8,共4页 Metrology & Measurement Technique

关键词平晶平面度等厚干涉仪有效直径

分类号 TG83 [金属学及工艺—公差测量技术]

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计量与测试技术

2009年第3期

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