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MEMS技术的发展与应用
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摘要
MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用。
作者
牛君
刘云桥
机构地区
石家庄职业技术学院
出处
《科技资讯》
2007年第23期1-2,共2页
Science & Technology Information
关键词
MEMS
微机电系统
加工工艺.
分类号
TN6 [电子电信—电路与系统]
引文网络
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