脉冲电弧团簇离子源电源设计

Design of PACIS (pulsed arc cluster ion source) Power

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摘要根据对两电极放电现象的研究以及国外的电源设计理念,设计并制作出复合式脉冲电源,对脉冲电弧团簇离子源(PACIS)内的两电极棒施加复合式脉冲电压使两电极棒放电,用以制备稳定的金属蒸汽,得到了良好的实验结果。

作者郑凯

机构地区集美大学理学院

出处《光盘技术》 2007年第6期41-44,共4页 CD TECHNOLOGY

关键词金属团簇电极放电复合式脉冲电源质谱 metal cluster discharge compound pulsed power mass spectra

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光盘技术

2007年第6期

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