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微型柔性红外传感器的制作研究

Fabrication of micro flexible IR sensor
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摘要 利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种128×1元柔性红外传感器阵列.首先在硅片衬底上生长一层 PDMS 柔性材料,然后再在柔性材料上利用 MEMS 技术制作红外传感器阵列.采用六轴微小器件试验台进行扭弯试验.在传感器的两端施加一定的力使其弯曲,然后测传感器不同单元的电阻.试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列能经受多次弯扭,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3 300次后,传感器本身的柔性材料并没有断. Based on micro-electromechanical systems (MEMS) technology,a 128×1 elements flexible sensor array is fabricated.Firstly a PDMS flexible layer is made on Si substrate,then the sensor array is manufactured on the flexible layer.The test results show that the flexible sensor array is not broken after 3 300 times bending.
作者 王明 陈四海 潘峰 汪殿明 黄光
机构地区 华中科技大学光电子科学与工程学院
出处 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z1期519-522,共4页 Infrared and Laser Engineering
关键词 微机电系统 MEMS 技术红外传感器 PDMS柔性材料 Micro-electromechanical systems (MEMS) IR sensor PDMS flexible material
分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH-39 [机械工程]
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参考文献4

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共引文献5

红外与激光工程
2006年 第z1期

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