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PVAC抑制PT铁电薄膜裂纹的研究

Research on Suppressing Crack Formation in the PT Ferroelectric Thin Film by PVAC
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摘要 用金属有机物热分解法,通过添加聚醋酸乙烯酯(PVAC),将PbTiO3(PT)薄膜的单层厚度提高到0.78μm;利用红外光谱、扫描电镜和XRD等分析手段研究了PT先驱体的反应机理、PT薄膜的表面形貌及相结构,讨论了PVAC抑制裂纹产生的原因.结果表明:PVAC能与钛酸四丁酯生成聚乙烯钛酸三丁酯,并且能与溶剂乙二醇乙醚形成氢键,这有利于立体网状结构的形成,这种网状结构增强了薄膜的弹性,抑制了裂纹的产生;同时PVAC的加入使PT薄膜的晶化温度从550℃降低到500℃.
机构地区 西安交通大学
出处 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z2期986-989,共4页 Rare Metal Materials and Engineering
基金 国家自然科学基金(60377035)和"973"计划子项目(2002CB613305)
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