陶瓷衬底材料对多晶硅薄膜沉积质量的影响
The Effects of Ceramic Substrates on The Quality of Deposited Polycrystalline Si Thin-film
摘要
通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅薄膜沉积质量的影响,在SiC衬底上制备了择优定向生长晶粒直径达190μm的多晶硅薄膜.
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z2期1152-1154,共3页
Rare Metal Materials and Engineering
基金
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
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