陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池工艺

The Process of Polycrystalline Silicon Thin-Film Solar Cell with Ceramic Substrates

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摘要为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.介绍了制作这一电池的完整工艺流程,摸索出合适的工艺参数,解决了在异质衬底上生长大晶粒多晶硅薄膜和表面电极引出的问题,实验取得了令人满意的结果.

作者万之坚李海峰黄勇张厚兴张立明许颖王文静

机构地区清华大学清华大学深圳研究生院北京市太阳能研究所

出处《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z2期931-933,共3页 Rare Metal Materials and Engineering

基金北京市自然科学基金重点项目(2021001)

关键词陶瓷衬底多晶硅薄膜电池

参考文献3

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稀有金属材料与工程

2005年第z2期

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