摘要
从实际应用的角度,分析了晶圆加工生产线排程特点,建立了晶圆加工生产线排程数学模型(LSM-WFL),给出了以瓶颈设备为核心、蚁群优化算法为主要工具的晶圆加工生产线排程方法(LSA-WFL)。基于实际生产线模型仿真验证的结果表明,LSA-WFL能够在允许的时间内获得晶圆加工生产线排程方案。
A sequencing model for wafer fabs was designed based on their sequencing characteristics.A four-layer ant colony optimization-based sequencing method was then developed.The method is fast and provides global optimization.Simulations based on an actual wafer fab show that the method could calculate the sequencing plan within a the reasonable time.
出处
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第z2期1890-1894,共5页
Journal of Tsinghua University(Science and Technology)
基金
国家自然科学基金资助项目(70531020
60374005)
国家"九七三"重大基础研究基金项目(2002CB312002)
关键词
晶圆加工生产线
排程
蚁群优化
瓶颈
wafer fabrication lines
sequencing
ant colony optimization(ACO)
bottleneck
