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高可靠性16×16 SOI热光开关阵列

High-Reliability 16×16 SOI Thermo-Optic Switch Matrix
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摘要 在分析加热器对热光开关阵列可靠性影响的基础上,提出了一种新的热光开关阵列控制和驱动电路.分析表明,在假设加热器失效率为5%的情况下,新控制和驱动电路可以使16×16 SOI热光开关阵列的可靠性从34.99%提高到92.30%.同时,采用引入控制信号预处理模式,使封装后的热光开关阵列控制端口数从34个减少到10个.在采用新的控制和驱动电路基础上,研制出高可靠性的16X16 SOI热光开关阵列.
作者 李运涛 余金中 李智勇 陈少武
机构地区 中国科学院半导体研究所
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期513-515,共3页 半导体学报（英文版）
基金 国家自然科学基金(批准号:60336010,60577044),国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000-03-66,2006CB302803)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312060)资助项目
关键词 热光开关阵列 控制和驱动电路 可靠性
分类号 TN491 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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参考文献1

二级参考文献5

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Journal of Semiconductors
2007年 第z1期

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