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一种新型的材料内应力测试方法——偏振透射差分法 被引量:3

A New Method for Testing Inner Strains of Semiconductor Substrate Materials——Polarization Transmittance Difference
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摘要 采用一种全新的偏振透射差分法-PTD(polarization transmittance difference)法来测量半导体衬底材料的内应力分布.由于该方法使用了偏振调制技术,无需旋转样品或者偏振元件进行多次测量,使得测量过程变得简单、迅速,并准确给出整体材料的内应力二维分布图.此方法属于无损测试.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期555-557,共3页 半导体学报(英文版)
  • 相关文献

参考文献7

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同被引文献26

引证文献3

二级引证文献12

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