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173 nm真空紫外光源的测试及分析 被引量：1

Intensity Study of 173 nm Ultraviolet Light Sources in Vacuum
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摘要 通过自行设计的测量装置,用专用探测器对173 nm介质阻挡放电产生的紫外光进行辐照度的测试.对着火电压与pd值、紫外光源的辐照度之间的关系进行测量分析,并对试验中所用MgF2晶体的透过率进行测量和计算.实验结果表明:对于单个的紫外灯,当介质的厚度、气体气压均为常量的时候,介质阻挡放电强度随电压的增加而增加,放电强度呈非线性增加;在气体种类、介质材料的种类和厚度、电极材料的种类确定的情况下,紫外灯的点火电压与pd值会有一个最小值;在大气压下,通过特殊方法测得厚度为2 mm的MgF2晶体对173 nm真空紫外光的透过率为88%.
作者 金晶 卜忍安 薛少丽 左丰国 张劲涛
机构地区 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室
出处 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期62-64,共3页 Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
关键词 介质阻挡放电 紫外辐照度 着火电压 pd值
分类号 O434.2 [机械工程—光学工程]
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参考文献3

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共引文献12

同被引文献5

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引证文献1

真空科学与技术学报
2007年 第z1期

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