ECR-CVD法制备BN薄膜

下载PDF

导出

摘要 cBN薄膜的CVD制备是一个很受关注的课题.本文研究了ECR-CVD系统的等离子体特性,并在Si(100)衬底上进行了BN薄膜的生长实验,初步获得了cBN含量约为23.8%的BN薄膜;分析了H2在CVD生长cBN中的影响.

作者张生俊崔贲涛王波严辉陈光华

机构地区北京工业大学材料学院

出处《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 2000年第z2期633-636,共4页 Journal of Materials Science and Engineering

基金国家自然科学基金,北京市自然科学基金,北京市科技新星计划和北京市科技骨干培养基金资助项目

关键词电子回旋共振 CBN 薄膜

参考文献11

1隋智通,洪澜,赵乃仁.在SiC晶须表面化学气相沉积BN薄膜的研究[J].稀有金属,1993,17(1):21-25.
2王志,巴德纯,刘飞,曹培江,杨天中,顾有松,庞世谨.大面积取向生长碳纳米管的ECR-CVD方法制备与表征[J].真空科学与技术学报,2004,24(5):385-388. 被引量：1
3韦小凤,王日初,冯艳,彭超群,朱学卫.Effects of h-BN content on properties of Ni-Cr/h-BN composite[J].Journal of Central South University,2011,18(5):1334-1339.
4王志,巴德纯,蔺增,刘飞.催化剂、基底对ECR-CVD法制备碳纳米管的影响[J].东北大学学报（自然科学版）,2004,25(10):980-983. 被引量：4
5叶超.微波ECR等离子体材料加工技术研究[J].苏州丝绸工学院学报,1998,18(3):18-21.
6王志,巴德纯,蔺增,曹培江.一维纳米材料的ECR-CVD方法制备[J].真空,2004,41(4):67-70.
7王志,巴德纯,于春宏,梁吉.碳纳米管异质结构的ECR-CVD法制备[J].无机材料学报,2006,21(5):1244-1248. 被引量：1
8秦毅,赵婷,王波,杨建锋.PECVD沉积和原位退火时间对h-BN薄膜组成及光学带隙的影响[J].无机材料学报,2014,29(7):729-734.
9徐志淮,李贺军.CVD生长SiC涂层工艺过程的正交分析研究[J].兵器材料科学与工程,2000,23(5):35-40. 被引量：4
10王志,巴德纯,曹培江.用ECR-CVD方法制备定向碳纳米管[J].材料研究学报,2004,18(4):412-418.

材料科学与工程学报

2000年第z2期

内容加载中请稍等...