SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜新方法及铁电特性研究

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摘要我们用SOL-GEL方法对PZT的制备进行了深入细致的研究,PZT薄膜不同组分的加入顺序对铁电特性的影响较小,而精确地控制PZT铁电薄膜的组分是制备性能良好的铁电薄膜的关键,铁电薄膜的退火条件对铁电薄膜特性有着至关重要的影响.我们运用将Zr及Ti有机物溶液加入Pb的有机溶液的新的制备工艺流程以精确地控制Pb/Zr/Ti的组分,从而制备出性能良好的铁电薄膜.在大量实验的基础上,我们绘制出扩散炉和快速热退火时,钙钛矿的形成与退火温度及时间的关系图,并且得出PZT铁电薄膜最佳的退火温度和时间区域.

作者颜雷汤庭鳌黄维宁姜国宝程旭姚海平钟琪

机构地区复旦大学电子工程系微电子学研究所

出处《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 2000年第z2期758-761,共4页 Journal of Materials Science and Engineering

关键词 SOL-GEL PZT 钙钛矿结构

分类号 TB3 [一般工业技术—材料科学与工程]

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