摘要
本文设计了一个控制温度的模糊专家系统 ,用在半导体微机械加工制作中 ,控制腐蚀装置的温度 ,在负载较重、加热功率较大的条件下 ,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求 .与传统PID算法控制系统相比 ,本系统能够快速、长时间地稳定在设定的温度 .
This paper designs a fuzzy expert system to control the temperature of etching processes in MEMS manufacture. Compared with PID algorithm control system, the fuzzy expert system is more rapidly, higher efficient, and can stabilize the temperature at the preset temperature for long time.
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2002年第3期189-192,共4页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金
天津市自然科学基金 (0 0 3 60 0 611)
