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微机械电感器

Micro-machined Inductor
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摘要 微机械电感器作为基本电感元件用途相当广泛.本文介绍了螺线管电感器的原理,分析了其结构与工作效率的关系,设计了制作工艺过程.
作者 张瑞平
出处 《测试技术学报》 2004年第z3期33-35,共3页 Journal of Test and Measurement Technology
  • 相关文献

参考文献2

  • 1[2]Chong H.Ahn,Member etc."Micromachined Planar lnductors on Sillion Wafers for MEMS Applications".
  • 2[3]Kawahito, S., Sasaki, Y., Ashiki, M., and Nakamura, T., "Micromachined Solenoids for Highly-Sensitive Magnetic Sensors," Proceedings of Transducers '91, the 1991 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, San Francicso, CA, June 24 - 27, 1991, pp. 1077 - 1080.

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